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| 产品 |
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硅片显影机
( 型号 : CSE-S-WX )
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主要材质：1.设备由五大部分组成：清洗槽部分、层流净化系统、电器控制系统、机架及整机。
2. 关键件采用进口件，包括气门阀。PFA管道，全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。、
3.人机界面为触摸屏，方便直观。
4.出装机和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成，适用于连续批量生产。
5.界面中有故障报警、安全保护，工艺时序号等功能。
备注：工作区的净化装置，内置高效过滤的装置，满足工作区净化要求，（1000-100级，10级为特制）
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