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苏州华林科纳半导体设备技术有限公司

 


产品
硅片预清洗机
( 型号 : CSE-g-x )
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硅片预清洗机

德国进口磁白PP板经雕刻后热弯/焊接组合加工; 1.设备由五大部分组成:清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。 2.清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。 3.关键件采用进口件,包括气动阀,PFA管道、全氟循环系统,保证工作介质(酸、碱)的洁净度,避免杂质析出。 4.工艺过程全自动,机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制,可存储多条工艺时序,方便使用


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icon 街道地址 江苏 苏州 5E,KuaChun Industry Park,WeiTing Town 215125
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